气浮块与导轨的间隙一般在几个微米到几十个微米之间。滑块对导轨平面度要求是3微米以内，超过这个公差的话，滑块快速运动时会有(yǒu)异响。运动速度过快会导致三坐(zuò)标气浮块瞬间锁死，后果很(hěn)严重，会导致大面积大理(lǐ)石平面受损。说道大理(lǐ)石受损，一般大理(lǐ)石价格在几万左右，如果受损后，直接更换大理(lǐ)石平台是不现实的，价格太贵，一般采取措施是研磨，通过研磨，我们可(kě)以完全恢复大理(lǐ)石平台精度，大理(lǐ)石平台一般是加工出形状后，通过磨床半精磨，然后通过人工研磨达到技7术要求的。人工研磨是通过大理(lǐ)石与大理(lǐ)石互相摩擦，在研磨表面图上研磨粉，一点一点研磨出来的，精度能(néng)确定到微米以内。

使用(yòng)时用(yòng)湿抹布黏上研磨粉，然后擦在大理(lǐ)石表面，然后再用(yòng)大理(lǐ)石研磨块来回摩擦。