三坐(zuò)标测量仪是指在一个六面體(tǐ)的空间范围内，能(néng)够表现几何形状、長(cháng)度及圆周分(fēn)度等测量能(néng)力的仪器，又(yòu)称為(wèi)三坐(zuò)标测量机或三坐(zuò)标量床。三坐(zuò)标测量仪又(yòu)可(kě)定义“一种具有(yǒu)可(kě)作三个方向移动的探测器，可(kě)在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理(lǐ)器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能(néng)测量的仪器”。三坐(zuò)标测量仪的测量功能(néng)应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。
结构型式：三轴花(huā)岗岩、四面全环抱的德式活动桥式结构
传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承
長(cháng)度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分(fēn)辨率為(wèi)0.1μm
测头系统：雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针
机 台：高精度（00级）花(huā)岗岩平台
使用(yòng)环境：温度(20±2)℃，湿度40%-70% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.6 Mpa
空气流量：25 L/min
長(cháng)度精度MPEe： ≤2.1+L/350 (μm)
探测球精度MPEp： ≤2.1μm